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低溫等離子體技術處理污染物的原理為在外加電場的作用下，介質放電產生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā);然后引發(fā)一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。低溫等離子體技術對大氣量、低濃度的污染氣體有較高的處理效率，是性價比非常高的有效處理技術。該方法具有效率高、成本低、設備適應性強、占地面積小、便于操作控制、開停方便、與噴漆工藝同步、可根據(jù)污染物源強和排放要求進行升級等優(yōu)點。作為環(huán)境污染處理領域中的一項具有極強潛在優(yōu)勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
單一等離子體處理有機廢氣效率較高且副產物較少，不會造成二次污染，但其較高的能耗和較低的能量效率是目前需要攻克的難題，等離子復合光催化可以彌補其缺點。等離子體催化劑選用TiO2，其為寬禁帶(Eg=3.2eV)半導體化合物，只有波長較短的太陽光才能被吸收，激發(fā)其活性，所以設計反應裝置的時候需要添加紫外光源。
光觸媒催化VOCs處理方法的優(yōu)劣
低溫等離子體光催化協(xié)同技術具有其他凈化技術不可比擬的優(yōu)點，低溫等離子體法處理VOCs的技術與傳統(tǒng)方法相比具有很多優(yōu)點：
一是，可在常溫常壓下操作;
二是，有機化合物最終的產物為 CO2，CO，H2O。若有機物是氯代物，則產物中還應加上氯化物，而無中間產物降低了，有機物的毒性，同時避免了其他方法中的后期處理問題;
三是，運行費用低;四是;VOCs的去除率高，對VOCs的適應性運行管理比較方便。
針對工業(yè)上氣量大，濃度低，且污染物大都無回收價值的制造行業(yè)有機廢氣VOCs，需要有一種更有效、徹底、操作更簡便的處理方法，最大限度地減少運行條件的限制，低溫等離子體法的出現(xiàn)正是為了順應這種要求，并越來越受到國內外的重視。隨著研究的不斷深入，低溫等離子體光催化法必將向著規(guī)模化方向發(fā)展。
