半導(dǎo)體車間酸堿性有機廢氣治理工藝

電子工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)廢氣不僅污染環(huán)境，而且會對人直接造成危害，所以需要經(jīng)過治理之后才能排放。我們針對半導(dǎo)體行業(yè)而研發(fā)出的一整套廢氣治理方案，操作性強，操作簡單，效果達標。 可處理以下四種廢氣：酸性廢氣、堿性廢氣、有機廢氣和有毒廢氣。由于半導(dǎo)體行業(yè)有4種不同的廢氣，不同的廢氣種類適合不同的凈化方案。

1、半導(dǎo)體行業(yè)酸性/堿性廢氣廢氣治理，推薦使用噴淋塔

對半導(dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法，但處理設(shè)備和處理原理基本相同。

對于含有 酸性／堿性物質(zhì)的廢氣，大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進行處理。但是，有些情況下，由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠，因此部分酸性／堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前，常因氣體特性導(dǎo)致在管路中結(jié)晶或粉塵堆積，造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體外泄，嚴重者甚至引發(fā)爆炸，危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。

因此，在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進行就地處理，之后再排入中央處理系統(tǒng)，而一些特殊的廢氣，包括劇毒、自燃、易爆等廢氣則需要先通過干式洗滌塔等設(shè)備通過吸附或氧化／燃燒等方法就地處理，之后再排人中央廢氣處理系統(tǒng) 。

現(xiàn)在，半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機成分的廢氣(voc)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進行處理。但這3種方法都有一定的弊端：

現(xiàn)在，國內(nèi)治理有機廢氣和毒性氣體的技術(shù)是差不多的，因此，對于，這兩種廢氣治理技術(shù)我們合并討論。

2、半導(dǎo)體行業(yè)有機廢氣和毒性氣體治理

低濃度大風(fēng)量的有機廢氣直接焚燒會造成大量的燃料消耗和不必要的污染，只有較高濃度的有機廢氣才建議直接焚燒，半導(dǎo)體制造的有機廢氣排放特點就是濃度低、風(fēng)量大，因此必須考慮將有機廢氣濃縮后再進行焚燒處理。

活性碳吸附的方法，由于其材料特性，存在易燃燒、水分敏感度高、脫附后殘留負荷高等缺點，在半導(dǎo)體行業(yè)基本不再使用。

生物氧化技術(shù)作為一種較新的處理技術(shù)，還有待在處理大風(fēng)量方面做進一步的研究和發(fā)展。

低溫等離子廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：

將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子，高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

低溫等離子廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點：

放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

反應(yīng)快，不受氣速限制。

采用防腐蝕材料。

只需用電，操作極為簡單。

設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，常溫常壓下即能使用。

氣阻小，適用于大風(fēng)量的廢氣處理。

光電組件生產(chǎn)企業(yè)：包括LED、OLED、LCD、光伏太陽能等的生產(chǎn)制造企業(yè)。

分立器件生產(chǎn)企業(yè)：主要包括晶體二極管、三極管，整流二極管，功率二極管、化合物二極管等生產(chǎn)制造企業(yè)。

低溫等離子廢氣處理技術(shù)可治理以下半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣：集成電路生產(chǎn)企業(yè)：主要包括數(shù)字集成電路板及模擬集成電路板生產(chǎn)企業(yè)。

文章來源：東莞市中仁環(huán)保科技有限公司

中仁環(huán)保的產(chǎn)品適用于家私業(yè)、木制品行業(yè)、制鞋業(yè)、化工業(yè)、飼料廠、電子業(yè)等各行業(yè)環(huán)境治理，可針對客戶的不同需求，設(shè)計出讓客戶滿意的環(huán)境治理方案。歡迎來電咨詢，期待與您的合作。