半導(dǎo)體工廠廢氣處理工藝

1.半導(dǎo)體工廠廢氣簡述
隨著科技的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體在各個領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，如智能手機、電腦、汽車等。然而半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢氣污染物，主要為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等污染物。如果這些廢氣不經(jīng)過有效的處理，直接排放到大氣中，不僅對環(huán)境造成嚴重的污染，還會對人體健康造成傷害。因此，需要對半導(dǎo)體工廠廢氣進行凈化處理后達標排放。
2.半導(dǎo)體工廠廢氣處理
半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生廢氣，主要為酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣等廢氣污染物。酸性氣體采用堿液噴淋洗滌法處理，堿性氣體采用酸液噴淋洗滌法處理，而對于有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附、催化燃燒等，接下來，詳細介紹半導(dǎo)體工廠廢氣處理。
2.1 酸性、堿性氣體處理方法
酸性廢氣處理方法是采用“堿液噴淋塔”進行處理，以10%的氫氧化鈉溶液為吸收液。堿性廢氣處理方法是采用“酸液噴淋塔”進行處理，以10%的硫酸溶液為吸收液。酸性、堿性廢氣洗滌凈化法，應(yīng)用相當(dāng)普遍，具有運行穩(wěn)定，處理效果好，投資少，處理費用低等優(yōu)點。
2.2 有機廢氣處理
（1）活性炭吸附
活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。
活性炭凈化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進行危廢處理，運行費用高。
（2）催化燃燒
催化燃燒法作為另一種高效處理有機廢氣的技術(shù)，其核心在于利用催化劑降低有機物的燃燒溫度，使廢氣在較低的溫度下就能發(fā)生無焰燃燒，進而分解為無害的二氧化碳和水蒸氣。這種方法尤其適用于處理高濃度、小風(fēng)量的有機廢氣，具有凈化效率高（可達95%以上）、能耗低、二次污染小等優(yōu)點。

催化燃燒系統(tǒng)通常包括預(yù)熱裝置、催化反應(yīng)器和熱回收系統(tǒng)。廢氣首先經(jīng)過預(yù)熱裝置，提升溫度至催化劑的活性溫度窗口內(nèi)，隨后進入催化反應(yīng)器，在催化劑表面迅速發(fā)生氧化反應(yīng)，釋放出大量熱能。這部分熱能可通過熱回收系統(tǒng)回收利用，用于預(yù)熱進入系統(tǒng)的廢氣，從而實現(xiàn)能量的高效利用。
值得注意的是，催化燃燒技術(shù)對催化劑的選擇至關(guān)重要。催化劑不僅需具備高活性、高選擇性，還需具備良好的熱穩(wěn)定性和抗中毒能力，以應(yīng)對半導(dǎo)體工廠廢氣中可能存在的復(fù)雜成分。此外，定期維護和更換催化劑也是保證系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。
綜上所述，半導(dǎo)體工廠廢氣處理是一個綜合性的環(huán)保工程，需根據(jù)廢氣成分、濃度及排放量等因素，靈活選擇并優(yōu)化處理工藝。通過采用堿液噴淋、酸液噴淋、活性炭吸附及催化燃燒等多種技術(shù)手段，可有效減少廢氣對環(huán)境的污染，保護人體健康，推動半導(dǎo)體行業(yè)的綠色可持續(xù)發(fā)展。
來源：環(huán)保