濕電子化學(xué)品廢氣處理工藝

一、濕電子化學(xué)品廢氣簡述
濕電子化學(xué)品，又稱超凈高純化學(xué)品，是指主體成分純度大于99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑的總稱，主要包括刻蝕液、剝離液、清洗液、顯影液。
近年來，濕電子化學(xué)品成為了超大規(guī)模集成電路（IC）制造業(yè)深入、快速發(fā)展中越來越不可缺少的、支撐其新技術(shù)發(fā)展的重要輔助材料。因此，它也成為在電子化學(xué)品中需求量大幅度增加、產(chǎn)量與技術(shù)高速發(fā)展的一類產(chǎn)品。濕電子化學(xué)品目前廣泛應(yīng)用在平板顯示、LED、太陽能電池、光磁記錄存儲體產(chǎn)品等領(lǐng)域中，并且在這些新型應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)展前景廣闊。但是濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過程產(chǎn)生氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣污染物，這些廢氣污染物，如果未經(jīng)過收集凈化處理，直接排放進(jìn)入大氣空氣中，不僅造成周邊大氣環(huán)境空氣污染，還會對周邊居民身體健康有傷害，因此，對濕電子化學(xué)品廢氣進(jìn)行凈化處理后，達(dá)到潔凈空氣排放要求。
二、濕電子化學(xué)品廢氣處理工藝
濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過程產(chǎn)生廢氣主要為氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣污染物，對于氯化氫、氮氧化物、醋酸等酸性廢氣處理采用間堿洗法即可處理，然而對于VOCs有機(jī)廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附、催化燃燒，下面詳細(xì)介紹濕電子化學(xué)品廢氣處理工藝。
2.1酸性廢氣處理方法
集氣罩收集酸性廢氣通過管道輸送進(jìn)入堿洗塔，經(jīng)廢氣洗滌塔酸堿中和處理后，達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
2.2 有機(jī)廢氣處理工藝
（1）活性炭吸附
活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機(jī)廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
活性炭凈化率高（活性炭吸附可達(dá)到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理，運行費用高。
（2）催化燃燒
催化燃燒法則是一種有效且環(huán)保的有機(jī)廢氣處理技術(shù)，尤其適用于處理中低濃度的VOCs廢氣。該技術(shù)利用催化劑降低有機(jī)廢氣中可燃物質(zhì)的活化能，使其在較低的溫度下即可發(fā)生無焰燃燒，從而將VOCs轉(zhuǎn)化為無害的二氧化碳和水蒸氣。催化燃燒過程不僅凈化效率高，一般可達(dá)95%以上，而且能夠大幅減少能源消耗和二次污染物的生成。

在濕電子化學(xué)品廢氣處理中，催化燃燒系統(tǒng)通常包括預(yù)熱裝置、催化反應(yīng)器和熱回收裝置三部分。廢氣首先經(jīng)過預(yù)熱裝置升溫至適宜催化反應(yīng)的溫度范圍，然后進(jìn)入裝有特定催化劑的反應(yīng)器內(nèi)，在催化劑的作用下發(fā)生氧化反應(yīng)，最終生成無害產(chǎn)物并釋放熱量。釋放的熱量通過熱回收裝置加以回收利用，進(jìn)一步提高了系統(tǒng)的能效。
相較于活性炭吸附法，催化燃燒法在處理效率、能源利用以及長期運行成本上更具優(yōu)勢，尤其適合處理風(fēng)量適中、VOCs濃度相對穩(wěn)定的廢氣場景。然而，其初期投資較高，且催化劑的選擇、維護(hù)及更換也是技術(shù)應(yīng)用中需考慮的關(guān)鍵因素。因此，在選擇濕電子化學(xué)品廢氣處理工藝時，需根據(jù)廢氣特性、處理規(guī)模及經(jīng)濟(jì)成本等因素綜合評估，以制定出既有效又經(jīng)濟(jì)的廢氣凈化方案。
來源：環(huán)保